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半导体工业气体的构成及特点

文章出处:深圳市昌达利焊接材料有限公司发表时间:2018/7/26 8:51:16
半导体工业用的工业电子气体分为三大类,有特殊的气体而组成的,使用起来便捷。
 
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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
 
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。
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